二次イオン質量分析法　第2版 （表面分析技術選書）

表面分析技術選書 公益社団法人　日本表面真空学会 丸善出版ニジイオンシツリョウブンセキホウダイニハン コウエキシャダンホウジン　ニホンヒョウメンシンクウガッカイ 発行年月：2025年06月03日 予約締切日：2025年06月02日 ページ数：240p サイズ：全集・双書 ISBN：9784621311356 1　二次イオン質量分析法（SIMS）とは何か（なぜSIMSで表面分析ができるのか／なぜSIMSで深さ方向分析ができるのか　ほか）／2　SIMSの原理（スパッタリング収率／二次イオン化率と二次イオン収率　ほか）／3　SIMS装置の基礎（装置の概略／一次イオン照射系　ほか）／4　SIMSによる測定の実際（試料の準備／無機物の定性分析　ほか）／5　SIMSの応用・発展（無機物・金属・半導体の測定および元素分析／有機物・高分子の測定　ほか） 二次イオン質量分析法（SIMS）は、試料表面にイオンビームを照射し、飛び出した二次イオンの質量を検出して物質を同定し、さらに各物質の試料中での分布をイメージングする手法である。金属や半導体から高分子材料、生体試料にも適用できる分析法として、多くの研究分野で活用されている。25年ぶりの大改訂となる本書では、重要性の高い基礎的な内容だけでなく、目的別の応用例を大幅に拡充。これからSIMSを使い始める学生はもちろん、現場の実務者にとっても有用な手引きとなる一冊。 本 科学・技術 化学