X線光電子分光法　第2版 （表面分析技術選書） [ 公益社団法人　日本表面真空学会

表面分析技術選書 公益社団法人　日本表面真空学会 丸善出版エックスセンコウデンシブンコウホウ　ダイニハン コウエキシャダンホウジン　ニホンヒョウメンシンクウガッカイ 発行年月：2025年12月02日 予約締切日：2025年12月01日 ページ数：224p サイズ：全集・双書 ISBN：9784621312148 1　X線光電子分光法（XPS）とは何か／2　光電子発生の原理／3　XPS装置の原理と基礎／4　測定法／5　データ解析／6　応用・発展 元素組成と化学状態の定量分析を可能にするX線光電子分光法（XPS）は、半導体デバイスの微細化、触媒、電池材料、有機薄膜など、先端材料研究の進展に不可欠な分析技術として、その重要性を増している。本書は、実用的なXPS入門書として好評を博した初版を全面的に改訂した最新版である。理論から測定・解析、そして先端応用事例までを一貫して徹底解説する。1〜5章で、光電子発生の原理、装置構成、試料調製、測定・解析の要点といった、測定者が確実に抑えるべき基礎事項を解説。新設の6章「応用・発展」では、雰囲気測定、イメージング、時間分解測定など、最新の多様な応用事例とその測定例を紹介した。XPSを初めて学ぶ学生から、実務に携わる研究者まで、すべての方の指針となる必携の一冊。 本 科学・技術 化学